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适用于半导体行业 |
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● 半导体工业净化间的理想检测仪器
● 理想的低浓度气体检测仪器(PPb级)
● 抗干扰性强
● 使用插入式盒式纸带,更换方便
● 盒式纸带剩余量显示 |
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类型 |
台式、可移动 |
检测原理 |
使用盒式纸带的光电度法原理 |
检测纸带 |
盒式纸带、VHS型快速更换型盒带 |
电源和能耗 |
AC100V,AC115V,AC220V,50/60Hz
(在检测状态耗能为35VA,在纸带卷动时耗能为60VA) |
尺寸·重量 |
约275(W)×220(H)×275(D)mm,约12kgs |
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检测气体 |
TLV值 |
检测范围 |
分辩率 |
磷烷(PH3) |
300ppb |
0-900ppb |
5 |
硅烷(SiH4) |
5ppm |
0-15ppm |
0.25 |
乙硼烷(B2H6) |
100ppb |
0-300ppb |
5 |
砷烷(A3H3) |
50ppb |
0-150ppb |
1 |
乙硅烷(Si2H6) |
5ppm |
0-10ppm |
0.1 |
硫化氢(H2S) |
10ppm |
0-100ppb |
1 |
氯气(Cl2) |
0.5ppm |
0-100ppb |
1 |
硒化氢(H2Se) |
50ppb |
0-300ppb |
2 |
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● CE认证 |
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● 体积小,结构紧凑
● 适用于测量低浓度气体(ppb级),灵敏度高
● 检测不受干扰
● 使用插入式盒式检测带,更换方便
● 检测带剩余量显示检测带用完提示报警 |
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检测原理 |
光电光度测量法 |
检测纸带 |
插入式盒式纸带 |
检测范围 |
见检测气体表 |
精度 |
显示值的±20%+1以内 |
检测带使用时间 |
1个月(无报警) |
报警点 |
第1和第2报警 |
自我诊断功能 |
传感器故障,流量低,检测带故障,检测带耗尽警告,检测带安装错误 |
外部输出 |
4-20mA(****回路电阻为300Ω) |
电源 |
AC100,110,117,220V或DC24V,订购时需指定其中一种 |
工作温度湿度 |
5℃~35℃,30~+9090%RH(无凝结) |
尺寸·重量 |
164(W)×198(H)×263(D),台式重6.5kg
164(W)×164(H)×261(D),盘装式重5.5kg |
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气体名称 |
检测范围 |
NH3 |
0.5-4ppm |
Cl2 |
0-0.8ppm(*) |
0-1.5ppm |
AsH3 |
0-150ppb |
B2H6 |
0-300ppb |
HCI |
0.25-1ppm |
1.5-8ppm |
HF |
0-9ppm |
H2S |
0-10ppm |
0-100ppm |
PH3 |
0-500ppb(*) |
0-900ppb |
SiH4 |
0-8ppm |
0-15ppm |
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(仅例出代表性气体) 注:(*)清洁器使用 |
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● CE认证 |
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● 内置微处理器控制
● LCD数字显示
● 自我诊断显示
● 泵吸式采样系统
● 轻便型检测仪
● 峰值保持和平均值显示
● 声/光报警
● 数据记录输出 |
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检测原理 |
电化学原理 |
检测气体和范围 |
见检测气体表 |
浓度显示 |
连续测量值,平均值和峰值显示 |
控制功能 |
微处理器控制 |
显示 |
点阵LCD显示,带自动照 |
精度 |
±10%以内 |
反应时间 |
30秒以内(当通入3倍报警点浓度的气体时) |
采样方式 |
内置隔膜泵,吸入式采样 |
使用湿度 |
-10℃~+40℃,小于90%RH |
连续使用时间 |
碱性电池(标准)约20个小时,Ni-Cd充电电池(选购)约10小时(在无报警和照明下) |
尺寸·重量 |
220(W)×200(H)×320(D)mm,约6kg |
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检测气体 |
检测范围 |
报警设定值 |
磷烷(PH3) |
0-1.00ppm(1刻度0.05ppm) |
0.3ppm |
砷烷(AsH3) |
0-15.00ppm(1刻度0.05ppm) |
0.3ppm |
硅烷(SiH4PH3) |
0-1.00ppm(1刻度0.05ppm) |
5ppm |
乙硼烷(B2H6) |
0-30.0ppm(1刻度0.05ppm) |
10ppm |
氯化氢(HCL) |
0-5.00ppm(1刻度0.05ppm) |
2ppm |
氟化氢(HF) |
0-9.0ppm(1刻度0.05ppm) |
3ppm |
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※ 一台SC-90型检测仪能检测一种指定的气体,表中未列出的气体请与本公司联系 |