JSC深冷机械公司制造的一系列工业用低温泵ABAn一100型、HKC-100型。3дBA-900型电弧装置用于压力在1× 10-3~5×10-6mm Hg柱的无油排放系统。 JSC深冷机械公司所有的低温真空装置都配有最基本的新型低温真空泵设备—内部为低温吸附和低温冷凝器,外部为泵,具有工作压力范围大(可达1× 10-8mm Hg)、残留空气除菌、高抽吸率、自动控制、高纯度等特点。JSC深冷机械公司制造的一系列工业用低温泵ABAn一100型、HKC-100型.3дBA-900型电弧装置用于压力在1×10-3~5×10-6mm Hg柱的无油排放系统。